X-射线光电子能谱仪
发布人 发布时间：2017-12-05 14:37:19
| 仪器名称 |
X-射线光电子能谱仪 |
仪器编号 |
2015063500 |
型号 |
AXIS-ULTRA-DLD |
规格 |
AXIS-ULTRA-DLD |
| 生产厂家 |
岛津 |
仪器单价 |
6360000元 |
国别 |
英国 |
购置日期 |
2015.3 |
| 共享时间 |
全工作日 |
联系人 |
王修光 |
电话 |
13502045450 |
存放地点 |
明理楼B108 |
主要技术指标：1、 具有165mm平均半径的双聚焦180°高精度能量分析器；
2、 128通道的DLD延迟线检测器；
3、 最大功率450W(30mA,15kV)的Al/Mg双阳极和Al/Ag单色化双阳极X射线源（X射线能量：Al Kα 1486.6eV/Mg Kα 1253.6eV/Ag Lα 2984.2eV），Ag 3d分辨率（半高宽FWHM） 0.48eV（Al Kα单色化），0.55eV（Mg Kα）；
4、 配置同轴荷电中和枪、低能量悬浮离子枪(Low energy floating ion gun)，刻蚀能量范围：50eV~5000eV，Ta2O5刻蚀率：40nm/min@4keV，2.2nm/min@500eV ；
5、 140meV分辨率（He I辐射的Ag）UV源；
6、 Schottky 场发射10kV电子枪，分辨率10kV加速电压/5nA样品电流下优于100nm；
7、 步进样品座分辨率1μm；
8、 在SAC和STC设有－150～600℃样品变温处理装置。
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| 测试内容 |
样品接收标准 |
| xps谱图测试 |
样品无磁性，无毒性。粉末样品不少于10mg、型材不小于5mm |
| xps成像测试 |
样品无磁性，无毒性。粉末样品不少于10mg、型材不小于5mm |
| xps深度剖析 |
样品无磁性，无毒性。型材不小于5mm |
| ups测试 |
样品无磁性，无毒性。粉末样品不少于10mg、型材不小于5mm |
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